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Corning Tropel社について

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2024年4月17日号　VOL.210

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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皆様こんにちは、営業の渋谷です。


最近は毎日気温差が大きく、
何を着たら良いのかと悩んでしまいます。
皆様も体調にはくれぐれもお気を付け下さいませ。


本題に移る前に、恒例の我が家の犬の話を少し。

下の子(小柄なトイプードル)は
私との物理的な距離感が絶妙で、
家族の中でもなぜか私だけ足を踏まれます。

調べてみましたが理由は特にないようで、
近くにいたい！という気持ちが強く
無意識のうちに踏んでいるようです。
(悪気がないどころか、たぶん本人は気づいていません。)


さて、本題に移ります。


今回のメルマガではCorning Tropel社について
お話ししたいと思います。


Tropel社は1953年にニューヨーク州の
ロチェスター大学のレンズ光学の教授3人によって
ベンチャー企業として設立され、
非接触斜入射位相干渉計を発明して以来
世界的に有名になりました。

斜入射位相干渉計は、
HeNeレーザー(波長633nm)を参照面(プリズム表面)に対し
80°程度になるような角度で入射させ、
フリンジスキャンを行い、干渉させます。

1974年11月にDr.John.H.Bruning(Tropel社元社長)が発表した
論文中に、干渉計自体はレンズの表面の測定等に
よく使われた技術と書かれていますが、
彼の研究によって、
λ/100の平面であっても測定できるようになり、
高精度に平面度を測定できるようになりました。

また、高精度でありながら、
1分以内に全面測定出来るようになりました。

これはPMI法(Phase Measurement Interferometry)
と呼ばれ、現在のTropelの干渉計でも用いられる、
ウェーハの平面度測定には欠かせない技術です。


(後の1978年に、PMI法でDr.John.H.Bruningは
レンズ光学研究で最も栄誉のあるI.R.100を受賞しました。)


干渉計の開発・販売をその後も続け、
2001年にガラスで有名なCorning社の傘下に入りました。

そのためTropelは、Corning社のAdvanced Optics事業の
Metrology Instrumentsのブランド名となりますが、
Tropelという名前が既に知れ渡っているブランドのため、
Corning Tropel社と呼ばれています。

PMI法が用いられている干渉計、
FlatMasterシリーズはお客様のニーズに合わせて
ウェーハを自動搬送し、SMIFや通信に対応したUltraSort-II や、
プリズム-チャック間のギャップを自動調整できる
半自動機のSemiAutoWafer等
お客様のニーズに合わせて進化してきました。


これからもTropelの測定機は
お客様の企業活動に貢献できると信じています。


なぜ今更会社紹介？と思った方もいらっしゃるかと思いますが、
メルマガのバックナンバーを見返していたら
実はメインテーマとしてTropelを紹介していなかったので、

今回はこれだ！と思い、
論文や資料を読み、メルマガの題材にしてみました。


今回ご紹介したDr.John.H.Bruningの論文も
公開しておりますので、
よろしければこちらからお読みください。(pdf形式)

https://www.sol-j.co.jp/company/tropel/img/Dr_Bruning_1974.pdf


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今週も最後までお読みいただきありがとうございます。


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K.S