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UltraSort-II のソーティング機能

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「知って得する干渉計測定技術！」
2024年6月19日号　VOL.D-0212

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こんにちは、技術グループの田中です。

今回はウェーハ向け平面度測定機 UltraSort-II の
ソーティング機能についてご紹介したいと思います。

UltraSort-II はウェーハ測定用の自動機であり、
そのThroughputは150枚/hです。

カセットからの搬送は全てロボットで行われるため
測定者がウェーハを直接扱う必要が無く、
手動機の FlatMaster や半自動機の SAW に比べ
倍以上の速さで測定することが可能です。

また測定時にウェーハを手でチャックへセットする操作もないため
チャックを傷つける様な心配も少なくなります。


そんな UltraSort-II の測定では、測定が完了したサンプルは
基本的に元と同じ位置に戻されますが、
設定を行うことで別のカセットへ収納することも可能です。

まず一つ目の方法として、測定値に対して閾値を設定し、
測定結果によって別のカセットへ収納する設定があります。

例えば「NTV>3um」の様に、
測定項目に対し任意の値を設定する事で、
測定値が3umよりも大きい場合に別のカセットへ収納できます。

対象の測定項目は複数設定する事もでき、
「NTV>3um」、「LTV>3um」の様に設定し、
どちらか、または両方の項目が閾値を超えた場合に
別のカセットへ収納するという事も可能です。


二つ目の方法として、測定値によらず、
設定した対象のカセットへサンプルを移動することもできます。

測定後のウェーハを指定のカセットへ搬送したり、
測定せず移載のみを行うことが可能です。

またこれらのソーティング機能を使用する際、
収納するスロットを下記の3つからお選び頂けます。
・測定前のSlot番号と同一のSlotへ収納
・下側(Slot1)から空きSlotへ収納
・上側(Slot25)から空きSlotへ収納


手動機や半自動機に比べThroughputが
大きく向上した自動機の UltraSort-II ですが、
この様にソーティング機能でもお客様を
強力にサポートすることが可能です。

今回は以上となります。
最後までお読みいただきありがとうございました。


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N.T.