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夏季休業のお知らせとMSPシリーズのご紹介

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp

連載「測定の新常識！？SOLがお伝えするノウハウ！」
2024年8月7日号　VOL.D-0215

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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平素は格別のご愛顧を賜わり、厚くお礼申しあげます。
誠に勝手ながら、下記日程にて夏季休業とさせていただきます。

■休業期間
2024年8月10日（土）～2024年8月13日（火）

また、メールフォームによるお問い合わせは、
休業期間中も受け付けております。

期間中にいただいたお問い合わせへの回答は、
営業再開日より順次対応させていただきます。

皆さまにはご不便とご迷惑をおかけしますが、
ご了承くださいますようお願い申し上げます。



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皆様こんにちは。
暑い日が続きますが、皆様いかがお過ごしでしょうか。

我が家の犬たちは、夏の間は22時頃散歩に行きます。

が、例年に比べてすぐに息が上がってしまいます。
年齢もあるかもしれませんが、
もこもこの毛の子たちには夜も大変なようです。


では、本題に入ります。

今回はMSPシリーズの2機種の特徴をご紹介します。
(詳細な説明は次回以降にするとします。)

ウェーハの大口径化、透明品測定の需要の増加、
面精度が上がっていることなどを背景に、
お引き合いをいただくことが多くなりました。

非常にありがたいです。ありがとうございます。

MSPシリーズはフィゾー式垂直入射干渉計で、
最大φ300mmまで全面一括で測定できます。

フリンジスキャンは、レーザーの波長を
微小に変化させる方式です。


では、以下に簡単に特徴を載せます。


＜MSP-Glass＞

測定面を下向きにし、参照平面の上に置きます。
参照平面にはテグスが張ってあり、
ウェーハを平置きにすることで、
一定のギャップを保った状態で測定を行います。

裏面を吸着することなく、
透明品は裏面から反射する光を用いて
TTVや厚みの測定が可能です。


＜MSP-Semi Auto Wafer＞

チャックに測定面を上に平置きで、測定します。

裏面全面を吸着して測定できるため、
不透明なSiなどもTTVの測定が出来ます。

研磨前後の厚みの比較を、
0.1?m(1σ)で測定できます。



MSPシリーズのお問い合わせは
以下のフォームよりお願いいたします。

　　https://www.sol-j.co.jp/contact/


今回も最後までお付き合いいただき
ありがとうございます。

暑い日が続きますが、
皆様、どうぞご自愛ください。


--
K.S