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FlatMasterの縞感度

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「測定の新常識！？SOLがお伝えするノウハウ！」
2014年5月7日号　VOL.003

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みなさんこんにちは！

4月に入ってすぐに埼玉では桜が咲き始め、
「花見でもするかー！」と思った矢先に雨が降ったり風が吹いたりで
あっという間に散ってしまいました。。。
やっぱり思い付いたらすぐに行動に移さないとダメですね（笑）

また、先日大学時代の友人と久しぶりに集まって
お酒を飲みに行ったのですが、そこでは入社3年目で出世した人、
転職した人、退職して1年間独り旅（？）に出ていた人等
様々でした。
学生時代に単位を取れずに苦しんでいた人が出世したり、
真面目にコツコツやってきた人が苦労したり、仕事って
難しいなぁとしみじみ思いました。

私がどっちのタイプだったのかはこの際置いておいて、
早速本題に入りましょう！（笑）


今回のテーマは「FlatMasterの縞感度」についてです。

縞感度についてお話する前に、VOL.001でも少し触れましたが、
FlatMasterという装置の仕組みについて簡単に説明します。

FlatMaster（以下FM）は、斜入射方式で測定を行っています。
仕組みは、干渉計内部から出るレーザー光を測定面に向けて
斜めに照射します。
そして、プリズム表面で反射した光と測定物の表面で反射した
光の干渉を見ていることになります。

光を干渉させるためには、
①一つの光波を分割させる事。
②分割されたそれぞれの光波が平行に進む事。

以上の2つの条件を満たす必要があります。
FMでは、プリズムの上面で光波を2分割し、プリズム上面及び
サンプル表面で反射した光が平行に進むため、光が干渉します。

その結果、干渉縞というウェーハ表面の凹凸を見る、等高線の
ようなものが生じます。
レーザーの入射角度を微小に変化させると、干渉縞が
流れるような動きを見せ、この明暗の変化をCCDカメラで捉え、
サンプル表面の形状を測定します。
この動きをフリンジスキャンといいます。

そして縞感度（Sensitivity）とは、干渉縞1周期で何μmの
勾配があるかを示しています。

FlatMaster XRAでは、縞感度を1.5、5、8μm/friの3段階に
変える事が出来ます。
その際、入射角度は78°、86.3°、87.7°に変えています。
→入射角度を大きくし反射率を上げることで、測定面が粗い
　ウェーハも測定可能になります。
※入射角度を90°(水平)に近付ける事が出来るのは、
　Tropelの干渉計だけです！

縞感度が1.5～8μm/friまで可変という事は、つるつるした
鏡面品から面の粗いサンプル、またSORIの大きなウェーハまで
幅広く測定が出来るという事です。

今回はFlatMasterが如何に高性能で、幅広く需要のある製品で
あるかという事を書いてみました！

最後まで読んでくださり、ありがとうございました。

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H.I