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Tropel社発・FM-Raとは！

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/

連載「測定の新常識！？SOLがお伝えするノウハウ！」
2014年7月2日号　VOL.005

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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みなさんこんにちは！

外はすっかり暑くなって、気付いたらもう1年の半分が終わり、
7月になってしまいました。

このメルマガを作成している頃、
世間はワールドカップ一色でした。
私はあまりサッカーに詳しくないですが、周囲は
熱くなって応援している人ばかりなので、何となく引っ張られて
応援していました(笑)

個人的には、ワールドカップよりもプロ野球交流戦の方が
気になって気になって仕方が無かったのが正直な所です(笑)

さて、ここで1つどうしても言いたいことがあります。

最近メジャーリーグで日本人選手が活躍する姿が
たびたび注目されています。
同じ日本人としてとても喜ばしいのですが、その反面、
日本のプロ野球が「もう落ち目なんじゃないか」と
言われてしまうのがとても悲しいです。

視聴率も下がり、放送枠も減ってしまってはそう思われても
仕方がないのかなとは思います。
ですが、人生や生活を懸けて必死にプレーをする選手を
見るのはワクワクするし、感動することだってあります。

このメルマガを読んでくれた方は、騙されたと思って
ぜひ一度球場に試合を見に行ってみてください！
規模は違えどワールドカップと同じように、
興奮や感動すること間違いなしです！


いやー熱くなってしまいました(笑)
それでは、本題に入ります！

今回のテーマは「Tropel社発・FM-Raとは！」ということで、
粗さ測定機・FM-Raについて書いていきます。

前回の締めの一言で
「次号ではまた前回までのようにFlatMasterについて
書いていきたいと思います！」
と宣言しましたが、予定（気分？）がコロコロ変わってしまい
すみません。。

何度か紹介しているFlatMasterでは、SORIやTTVなど
平面度の測定をする際に用いる装置でしたが、
FM-Raは、粗さの測定に特化した装置になっています。

一般的に表面粗さを測定する装置は、以下の2つに大別出来ます。

①接触式粗さ測定機
→先端球5μmのプローブで、測定面を引っ掻きながら測定。
②非接触式粗さ測定機
→レーザー光や白色光を用いて、測定物には触れずに測定。

FM-Raは②に当てはまります。

まず測定原理を紹介すると・・・
光源から出た白色光が半透鏡で波面分割し、
サンプル表面からの反射光と、半透鏡からの反射光になります。
この２つの反射光の光路長が等しくなった時のみ干渉縞が見え、
その干渉縞の動きをCCDカメラで捉えています。

従来の粗さ測定機は、測定面の上からセンサーを下に向けて
配置するタイプが一般的でした。
従って、本来サンプルの厚みや反りが変わる度に
測定面とレンズの距離が変わるので、その都度顕微鏡のように
手動でフォーカスを合わせなければいけないのです。
しかし、FM-Raではセンサーがサンプルの下に
上向きに配置されており、常に測定面基準になるため、
サンプルの厚みや反りによって
フォーカスを再調整する必要がありません。
さらに、自動で対物レンズを垂直に動かす
「オートフォーカス機能」によって、面倒な干渉縞探しの時間も
短縮できます。

なぜ干渉縞探しが面倒かと言うと、鏡面ウェーハの場合、
フォーカスが合う領域は僅か3μm程度なので、
この領域を見つけるのに10分以上掛かってしまうことがあります。
これは白色干渉計の課題の一つでした。

このような課題を解決したのが、
オートフォーカス機能を持つFM-Raなんです！


今回はここまで！
分かりづらい部分もあったかと思いますが、最後まで読んでいただき、
ありがとうございました。

このFM-Raは発売を開始したのが昨年秋頃なので、
まだまだこの業界では新参者です。
なので、このメルマガをきっかけに多くの人に
存在を知ってもらえたらと思います。


これから気温がグングン上がっていくと思われますので、
熱中症対策は万全に！


--
H.I