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FlatMaster-Wafer, SAW　主要オプションの種類と概要
 
発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp/
 
連載「測定の新常識！？SOLがお伝えするノウハウ！」
2021年9月29日号　VOL.114

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こんにちは。営業の太田です。


前回6月のメルマガで、「梅雨入りしましたね」と書きましたが
もうあっという間に秋ですね。


1日のうちの明るい時間が短くなり、少し寂しい気もしますが、、、
過ごしやすい気候になり、
汗をかくのと冷房が嫌いな私は、快適な毎日を過ごしています。


今年も夏らしいことは特に何も出来ませんでしたが、

花火大会の代わりに、手持ち花火を楽しみ、
川遊びの代わりに、近くの泥池でザリガニを捕まえ、
旅行の代わりに、サイクリングに行き、
プールに行く代わりに、庭にビニールプールを作って遊びました。


「コロナ渦で、一番ストレスを感じているのは
小さい子供を持つ母親だ」というニュースを目にし、
「うん、うん。」と大きく頷きましたが、

こう書いてみると、制限がある中、
結構満喫出来たな、と楽しい気分になってきたので、
私の感じるストレスなんて大したことなかったようです。


来年こそは「代わりに」ではなく、
夏の醍醐味を味わえたら良いなと思っています。



さて、本題に入ります。


前回の内容（FlatMaster-Industrialオプション）の続きとして、

今回は手動機、FlatMaster-Waferと、
半自動機、FlatMaster-SemiAutomatedWafer（以降FlatMaster-SAW）の

主要オプションの種類とそれぞれの概要についてお伝えします。


まず、前回のFlatMaster-Industrialと共通のものは
名前だけご紹介します。


１．XR、XRAオプション

２．FFTオプション

３．リファレンスフラット


※　詳細は前回（VOL.110）のメルマガをご参照いただけると幸いです。


そして、ここからが手動機、FlatMaster-Waferのオプションとなります。


１．ウェーハチャック

　A)　非吸着チャック
　　FlatMaster-Waferご購入の際、
　　「Universal Bow Chuck」一つが付属されます。

　　BOWやSORIなどの非吸着測定を行うためのチャックで、
　　真ん中1点もしくは3点（インチにより異なる）で
　　ウェーハが落ちない程度に吸着を行います。
　
　　Universal Bow Chuckの対応サイズは
　　チャック一つで、2"～8"までとなります。


　B)　吸着チャック　
　　TTVなどの吸着測定を行うためのチャックです。

　　Universal Bow Chuckと異なり、インチ毎に
　　ご用意頂く必要がございます。


　　インチだけでなく、その他にもお決めいただく必要があるものが
　　いくつかあります。


　　・通常ピッチチャックか、ファインピッチチャックか
　　　→　吸着チャックの表面には、中心から同心円状の溝が掘られており、
　　　　　真空ポンプで吸引した空気が溝を伝わって
　　　　　全面吸着できるようになっております。
　　　　　
　　　　　ファインピッチチャックとは、その溝と溝のピッチが、
　　　　　通常よりも細かく掘られており、薄いウェーハ等、
　　　　　外周部が浮きやすいウェーハなどにご案内しております。


　　・オリフラかノッチか
　　　→　2"、3"、4"はオリフラ、6"、8"はオリフラもしくはノッチのどちらか、
　　　　　お客様のウェーハ形状に応じてお決めいただきます。

　　　　　さらに、6"はオリフラでも、SEMIもしくはJEITAどちらか、ご指定いただきます。

　　　　※　その他、特殊な形状やサイズ等、ご相談いただくことでご対応できる場合もございます


次に、FlatMaster-SAWのオプションです。


１．Wafer Thickness
　　ウェーハの厚みを測定することが可能なオプションです。
　　手動機では厚みの測定はできません。

２．ウェーハチャック
　　FlatMaster-SAWご購入の際、
　　Universal Chuckが一つ付属されます。

　　手動機のFlatMaster-Waferと異なり、半自動機のFlatMaster-SAWでは、
　　それぞれのインチの吸着測定、非吸着測定、全て一つのチャックで測定が可能です。


　　インチ毎、測定項目毎にチャックを交換いただく必要はありません。


　　手動機は、チャックの交換に加え、それぞれウェーハの厚みに応じて
　　ギャップの調整が必要なので、
　　その手間を省けるのは、メリットですね。


　　こちらも、オリフラ、ノッチ等に応じて選択肢がありますので、
　　お客様のウェーハ形状に応じて、お選びいただくことが可能です。


　　ちなみに、半自動機の魅力は先日のメルマガに
　　もっと詳しく書いてありましたので、ご参照下さい。
　　https://www.sol-j.co.jp/mailmag/d-0174.html


３．ウェーハ保持ジグ
　　保持ジグが標準で４つ付属されます。
　　サイズはお客様の測定されるインチに応じて、お選びいただくことが可能です。
　　※　4つ目以降は、オプション扱いとなります。

　　ウェーハ保持ジグがどういうものかというと、
　　ジグにウェーハをピタッとくっつけて測定することによって、
　　毎回ほぼ同じ位置で測定ができるというものです。


ここまで書きましたが、

特にチャックなど、
いくつか種類がある中で選択いただくのは大変だと思います。

お客様のニーズやご要望を適宜お伺いし、
適切なチャックやオプションをご提案できるように頑張ります！


「そんなものもあるんだ。」程度に
参考にしていただけると嬉しいです。


次は今年12月最後のメルマガを予定しています。
3ヶ月先ですが、あっという間にその日が来そうですね。


つまり、もう1年が終わるのですね。早い。。。


2021年もHappyだった！と言えるように、
残り3ヶ月有意義に過ごせると良いですね！


最後までお読みいただき、ありがとうございました。


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M.O