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UltraSort-II のオプション

発行：エスオーエル株式会社
https://www.sol-j.co.jp

連載「測定の新常識！？SOLがお伝えするノウハウ！」
2024年7月3日号　VOL.E-0162

平素は格別のお引き立てを賜り、厚く御礼申し上げます。
干渉計による精密測定やアプリケーション開発情報などをテーマに、
無料にてメールマガジンを配信いたしております。

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こんにちは。


世界各地で猛暑が猛威をふるっているというニュースを
最近良く耳にします。

国外では、50度越えを観測した地域もあるそうで、
信じられません。

今年も日本の夏は暑くなりそうですね。
それよりも地球が心配です。

少しでもエコにと、微力ながら
私も車通勤を止め、自転車通勤を再開しました。

片道15キロと、距離としては結構ありますが、
貴重なこの1人時間を有効活用しながら楽しく通勤しています。

これからますます暑い日が続くかと思いますが、
皆様ご自愛ください。


以前、このメルマガで FlatMaster シリーズのオプションを
紹介いたしました。

本日は自動機、UltraSort-II (以下 US-II) のオプションについて
書こうと思います。


これまで紹介してきたオプションは、
名前だけご紹介しますと、

　　1. XR, XRAオプション
　　2. FFTオプション (光学的厚みむら測定)
　　3. Wafer Thickness 測定 (FlatMaster-SAW のみ)
　　4. ウェーハチャック

があります。


そしてここから、US-II 向けの主要オプションを紹介します。

　1. カセット個数
　　カセット数は4個(4ポート)が標準ですが、
　　4個単位で最大16個まで搭載が可能です。

　　最近は、SMIFも選択することが出来るようになりました。
　　SMIFの場合は2ポートで、オープンカセットとの併用は出来ません。


　2. 通信仕様対応
　　SECS/GEMに対応した通信仕様の搭載が可能です。


　3. OCR
　　ウェーハの表裏に印字された文字/数字を読み取ります。


　4. バーコードリーダー
　　カセットに貼り付けられたバーコードを読み取ります。


　5. マニュアルハンドリング
　　US-II を半自動機としてもお使いいただく事が出来ます。

　　基本は全自動で測定するけど、たまに手載せで数枚測定したい
　　という方や、
　　3インチ以下のウェーハも測定される方にご案内するオプションです。
　　（US-II で自動搬送が可能なのは、4～8インチの為。）


この他にも、US-II で選択できるオプションはいくつかありますが、
今日は主要なオプションを紹介しました。


今回も最後までお読みいただき、
ありがとうございます。


--
M.O