FlatMasterとMSPの比較
2機種の比較 Comparison
このページでは下記2機種を比較しています。平面度測定のみならFlatMaster-Industrialを、異なる面の平行度や高さも測定したいならFlatMaster MSPを選ぶのが一般的です。どちらか迷ったときはお気軽にお問合せ下さい。
平面度測定機
FlatMaster-Industrial
平面度・平行度・高さ測定機
FlatMaster MSP
特徴で比較 Features
| 機種名 | FlatMaster-Industrial | FlatMaster MSP | |
|---|---|---|---|
| メリット |
・斜入射なのでMSPに比べて粗面でもデータを取得しやすい。 ・実績が豊富。 |
・平面度だけでなく、高さや平行度の測定が可能。 |
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| デメリット |
・同一平面の平面度測定のみ可能。 |
・FM-Iよりは操作やレシピ設定が複雑。 ・レーザー交換の際、FM-Iより納期と費用がかかる。 |
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仕様で比較 Specification
| 機種名 | FlatMaster-Industrial | FlatMaster MSP | |
|---|---|---|---|
| 測定項目 | 平面度測定機 | 平面度、平行度、高さ測定機 | |
| 測定原理 | 斜入射干渉計 | 垂直入射干渉計 | |
| 測定波長 | 670nm半導体レーザー（FM40） 635nm半導体レーザー（FM100、200） |
830nm AlGaAs半導体レーザー | |
| ラインナップ | FM40-I、FM100-I、FM200-I | FM MSP40、FM MSP150、FM MSP300 | |
| 測定可能サンプルサイズ | ～φ40mm、～φ100mm、～φ200mm | ～φ40mm、～φ150mm、～φ300mm | |
| データポイント | 約25万点 | 約78万点（MSP 40、150） 約400万点（MSP300） |
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| ズーム機能 | 〇（サンプルサイズに合わせてズーム） | ×（倍率固定） | |
| 縞感度 | 1.8～4μm/fringe（FM40）または 1.8～8μm/fringe（FM100、200） の中で1つ指定 |
0.4μm/fringe 固定 | |
| 縞感度可変オプション （XR、XRA） |
XR：1.8～4μm/fringe（FM40）または 4～8μm/fringe（FM100、200） の中で3段階 XRA：1.5～8μm/fringeの中で3段階 （FM100、200） |
× | |
| 測定分解能 | 0.01μm | 0.01μm | |
| 測定精度 （Accuracy） |
平面度 | 0.1μm以下 | 0.06μm |
| 平行度 | - | 0.1μm | |
| 高さ | - | 0.25μm | |
| 繰り返し精度 （Repeatability） （1σ） |
平面度 | 0.025μm以下 | 0.02μm |
| 平行度 | - | 0.025μm | |
| 高さ | - | 0.1μm | |
| 測定時間 | サンプルセットから解析まで約10秒 | サンプルセットから解析まで約60秒 | |