お客様の用途に合わせて製品の検索をすることができます。
測定サンプルの種類
ウェーハ用製品
シリコン（Si）
干渉計による非接触の平面度（平坦度）測定で実績のある装置をご提案いたします。
FlatMaster-
Semi Auto Wafer
UltraSort II
※最先端の300mmウェーハ用測定機 → お問い合わせ下さい。
お問い合わせはこちら
化合物（SiC、Lt、GaN、Ga2O3 など）
干渉計による非接触の平面度（平坦度）測定で実績のある装置をご提案いたします。
FlatMaster-
Semi Auto Wafer
UltraSort II
透明品（ガラス、水晶、サファイア など）
透明ウェーハでも、干渉計による平面度（平坦度）測定が可能です。
FlatMaster-
Semi Auto Wafer
UltraSort II
FlatMaster
MSP-Glass
フォトマスク
UltraFlat
プレート、フレーム
FlatMaster-Industrial
機械部品
平面のみ
FlatMaster-Industrial
段差
FlatMaster MSP
内部
TomoScope
三次元寸法
カメラや接触/非接触プローブを組合せたマルチセンサ方式による座標測定機（三次元測定機）です。
VideoCheck
ScopeCheck
幾何公差
FlatMaster-Industrial
FlatMaster MSP
VideoCheck
/ ScopeCheck
TomoScope
樹脂成型品
X線CT（コンピュータトモグラフィ）による内部計測が可能です。
TomoScope
