新発見！多機能解析
NEW
新発見！多機能解析
New discovery!
Multifunctional analysis
1. 大きな反り測定 Large warp measurement
Corning Tropel社の斜入射干渉計では、2024年に500μm超の平面度(反り)測定を実現しました。
干渉計は高精度および高分解能に平面度を測定できる事に強みを持ちますが、一方で測定できる反りの大きさには限度があります。
「もう少し大きい反りまでTropel装置で測定出来たら便利」というお客様からのお声を受け、500μm位まではデータ出力できるようになりました。
是非、お問合せください
2. Microwaviness
(微小うねり)測定
Microwaviness measurement
断面曲線は、空間波長の①短い曲線(粗さ)、②中間の曲線(微小うねり)、③長い曲線(形状、平面度)の成分の合成と考えることができます。弊社が取扱うCorning Tropel社の干渉計では、②微小うねりと③平面度の測定が可能です。
粗さや、平面度はそれぞれ異なる目的で測定されます。同様に、微小うねりの評価が役に立つ場面がございます。
例えば、ウェーハのアズスライス、グラインディング等の加工工程の評価、Nanotopography測定などがございます。
3. Nanotopography測定 Nanotopography measurement
近年、微細化に伴い要求、注目されているNanotopography測定が可能です。空間波長の長い成分を取り除いた、約0.2mm～20mmの空間波長成分の凹凸を評価するものです。
Corning Tropel社の干渉計は高分解能、且つ、干渉縞を処理するPhase Unwrap解析ソフトウェアに強みを持っており、Nanotopography測定に最適です。
4. SiCウェーハがもつHoop Stress Hoop stress of SiC wafer
SiCウェーハの製造工程において、Hoop Stressという内部応力が生じる場合があります。この内部応力は、ウェーハの外形を小さくしようとする向きに働き、小さな外力によりウェーハ形状が大きく変わります。そのため、単にウェーハ形状を測定しただけでは、その後のプロセスで問題となる可能性があります。
Tropel装置では、Hoop Stressを検出するオプションを提供できます。
