FlatMaster-Industrial
製品情報 Product Information
FlatMaster-Industrial 機械部品用平面度測定機（手動機）
対応サイズ：～φ200mm
測定項目：
平面度（TIR）、表面うねり
対測定対象：
金属プレート、金属フレーム、メカニカルシール、金型、自動車部品、油圧部品 など
保持方法：水平保持（テグス）
特徴
測定時間約10秒！
全面一括高速測定
最大25万点のデータを、サンプルセットから解析まで約10秒で測定。
精度0.1μm以下！
NISTトレーサブル
繰返し精度(Repeatability)だけでなく、校正原器に対する精度(Accuracy)も保証。
NIST規格に準拠した校正原器も標準で付属。
粗面から鏡面まで対応
鏡面だけでなく、反射しにくい研削・切削面の測定にも対応。粗面から鏡面まで幅広い工程でお使い頂けます。
仕様
| 機種名 | FlatMaster40 | FlatMaster100 | FlatMaster200 |
|---|---|---|---|
| 測定原理 | フィゾー式斜入射干渉計 | ||
| サンプルサイズ | ～φ40mm | ～φ100mm | ～φ200mm |
| Zoom追従範囲（横分解能） | 3.8～40mm | 20～100mm | 40～200mm |
| (14～117μm/pixel) | (80~240μm/pixel) | (96～457μm/pixel) | |
| 測定波長 | 670nm | 635nm半導体レーザー | |
| 半導体レーザー | |||
| 縞感度 | 1.8～4μm/fringeの中で1つご指定 | 1.8～8μm/fringeの中で1つご指定 | |
| XR、XRAオプション | XRは1.8～4μm/fringeの中で3段階可変 | XRは4～8μm/fringeの中で3段階可変 | |
| XRAは1.8～8μm/fringeの中で3段階可変 | |||
| 測定データ数 | 最大約25万点 | ||
| 測定分解能 | 0.01μm | ||
| 測定精度(Accuracy) | ±0.05μm | ||
| 繰返し精度(Repeatability) (1σ) |
0.015μm | ||
| 測定時間 | サンプルセットから解析まで約10秒 | ||