FlatMaster MSP-Glass
製品情報 Product Information
FlatMaster MSP-Glass ウェーハ用平面度・平行度・厚み測定機（手動機）
対応サイズ：～12”
測定項目：
吸着測定：TTV, LTV など
非吸着測定：SORI, BOW, WARP など
厚み、ストレス解析、表面うねりなど
対象ウェーハ：
透明基板
（ガラス、水晶、サファイアなど）
保持方法：基板水平保持
特徴
300mmウェーハに対応
全面一括で最大400万点のデータから平面度の解析が可能。
精度0.1μm以下！
NISTトレーサブル
繰返し精度(Repeatability)だけでなく、校正原器に対する精度(Accuracy)も保証。
NIST規格に準拠した校正原器も標準で付属。
厚みを高精度に測定
表面と裏面の平面度測定に加え、基板の絶対厚みも測定が可能。
仕様
| 機種名 | FlatMaster MSP150-Glass |
FlatMaster MSP300-Glass |
|
|---|---|---|---|
| 測定原理 | 垂直入射干渉計 | ||
| ウェーハサイズ | 2"～6" | 2"～12" | |
| 測定波長 | 830nm AlGaAs半導体レーザー | ||
| 測定データ数 | 最大約78万点 | 最大約400万点 | |
| 測定分解能 | 0.01μm | ||
| 測定精度(Accuracy) | 平面度 | 0.060μm | |
| 平行度 | 0.100μm | ||
| 深さ | 0.250μm | ||
| 繰り返し精度 (Repeatability) (1σ) |
平面度 | 0.020μm | |
| 平行度 | 0.025μm | ||
| 深さ | 0.100μm | ||
| 測定時間 | サンプルセットから解析まで約60秒 | ||