センサー一覧
センサー一覧 Sensor list
マルチセンサー式とは Multi-sensor type
ベアト社はマルチセンサー式三次元測定機のリーディングカンパニーです。
マルチセンサー式とは、1台の測定機に複数のプローブを搭載し、サンプルを動かすことなく図面指定された測定箇所を測定し切ることを目的としています。
例えば下図のような形状を測定する際、輪郭はカメラや接触式でデータ取得し、微細な穴の径はファイバープローブ、穴の深さはオートフォーカス、曲面はレーザーや3Dパッチを用いること1台で様々なご要望にお応え出来ます。
ベアト社の三次元測定機は全てマルチセンサー式です。 ベースとなる装置本体と搭載するプローブをお選び頂くことで、ご要望に合った一台をお使い頂けます。
画像処理（カメラ）センサー Image processing (camera) sensor
ベアト社は1955年に投影機を販売開始して以来、画像処理技術に最も力を入れて発展してきた測定機専門メーカーです。マルチセンサー装置の幅広いラインナップの中でも、特に画像処理技術を利用した機能が充実しています。
※
のついている機能はベアト社の特許技術です。
Werth MultiRing®
ワーキングディスタンスに応じた最適な照明角度で輪郭を際立たせ、高性能な輪郭測定を行います。
Werth Zoom
倍率を変えないでワーキングディスタンスを変えることができます。Werth MultiRing®との組み合わせで、より効果を発揮します。
フィルター機能
輪郭測定で、測定値から除外すべきゴミの付着と、除外してはならない形状欠陥がある場合、ベアト社オリジナルのダストフィルターが有効です。左図①のようなフィルターなしで測定するとゴミと形状どちらも反映された測定結果になります。よくあるフィルターやエッヂファインダー(②)を使うとゴミと形状どちらも除外されてしまいます。ベアト社オリジナルのダストフィルター(③)なら、あるアルゴリズムにより、形状は残してゴミだけを除去出来ます。
その他センサー一覧 List of other sensors
※のついている機能はベアト社の特許技術です。
2D
3D
Werth Fiber Probe (WFP)
接触式ですが、接触圧がほぼ掛からない(～µNレベル)という特殊なプローブです。
2Dと3Dの2種類があります。まず、XY方向については、ファイバーの先端に微細なボールが付いていて、その位置をカメラで認識しています。これらは常に連動して動きます。サンプルに当たるとファイバーがしなりますので、ボールがカメラの中心から外れます。このずれ量を画像処理で測定し、プローブが当たった位置を算出します。3Dは内部にレーザーの機構を搭載してさらにZ方向の測定が可能です。レンズの測定や微細な穴の形状測定で多数の実績が出ています。