高感度な
Sensitivity

垂直入射に近い斜入射干渉計採用により、Sensitivity 0.4μm／fringeを実現しました。
外部環境に強く、より高精度な測定が可能です。

世界最高水準の
保証精度

Uncertainty : 30nm（λ／40）、20nm（λ／100）

業界標準機

コーティング付きマスクおよび、ペリクル付きマスクの測定が可能です。