UltraSortⅡ
製品情報 Product Information
UltraSortⅡ ウェーハ用平面度測定機（自動機）
オンライン化にも対応
対応サイズ：4”～8”
測定項目：
吸着測定：TTV, LTV など
非吸着測定：SORI, BOW, WARP など
厚み、ストレス解析、表面うねりなど
対象ウェーハ：
Si, サファイア, SiC, GaN, 酸化ガリウム, LT, LN,
GaAs, InP, 水晶, ガラス, セラミック など
保持方法：基板水平保持
特徴
スループット
1時間で最大150枚測定が可能。TTVもSORIも自動で連続測定。
精度0.1μm以下！
NISTトレーサブル
繰返し精度(Repeatability)だけでなく、校正原器に対する精度(Accuracy)も保証。
NIST規格に準拠した校正原器も標準で付属。
交換不要の
ユニバーサルチャック採用
チャックはユニバーサルチャックを採用しているため、ウェーハのサイズや吸着/非吸着を切替えても一つのチャックで測定が可能。
仕様
| 機種名 | UltraSort200-Ⅱ | ||
|---|---|---|---|
| 測定原理 | 斜入射干渉計 | ||
| ウェーハサイズ | 4"～8" | ||
| 測定波長 | 635nm 半導体レーザー | ||
| 縞感度 | 1.8～6.5μm/fringeの中で1つご指定 | ||
| XRAオプション （縞感度可変オプション） |
1.8～6.5μm/fringeの中で3段階可変 | ||
| 測定データ数 | 最大約25万点 | ||
| 測定分解能 | 0.01μm | ||
| 測定精度(Accuracy) | ±0.05μm | ||
| 繰返し精度(Repeatability)(1σ) | 0.015μm | ||
| スループット | 吸着・非吸着 | 150枚/h | |
| 吸着・非吸着・厚み | 120枚/h（オプション） | ||
| カセット数 | 標準は4個（オプションで8個、12個、16個が可能） | ||
| オンライン化 | 可（内容は要ご相談） | ||
| ロボットアーム | 2本 | ||