FlatMaster MSP
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製品情報 Product Information
FlatMaster MSP 機械部品用平面度・平行度・高さ測定機（手動機）
対応サイズ：～φ300mm
測定項目：
平面度、平行度、高さ（深さ）、表面うねり
対測定対象：
ガラスウェーハ、スクロールコンプレッサ、ベアリング、
金型、自動車部品、油圧部品 など
保持方法：水平保持（テグス）
特徴
平行度や段差も！
平面度に加え、平行度や段差も測定できます。
精度0.1μm以下！
NISTトレーサブル
繰返し精度(Repeatability)だけでなく、校正原器に対する精度(Accuracy)も保証。
NIST規格に準拠した校正原器も標準で付属。
透明品の測定に強み
ガラス、水晶、サファイアなどの透明基板で、TTVやSORIの測定ができます。
仕様
| 機種名 | FlatMaster MSP40 | FlatMaster MSP150 | FlatMaster MSP300 | |
|---|---|---|---|---|
| 測定原理 | フィゾー式垂直入射干渉計 | |||
| サンプルサイズ | ～φ40mm | ～φ150mm | ～φ300mm | |
| 最大測定高さ | 40mm | 60mm | 300mm | |
| 測定波長 | 830nmAlGaAs半導体レーザー | |||
| 測定データ数 | 最大約100万点 | 最大約400万点 | ||
| 測定分解能 | 0.001μm | |||
| 測定精度(Accuracy) | 平面度 | 0.060μm | ||
| 平行度 | 0.100μm | |||
| 深さ | 0.250μm | |||
| 繰り返し精度 (Repeatability) (1σ) |
平面度 | 0.02μm | ||
| 平行度 | 0.025μm | |||
| 深さ | 0.100μm | |||
| 測定時間 | サンプルセットから解析まで約60秒 | |||